產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹:
測量顯微鏡廣泛應用于半導體,電子工業(yè)進(jìn)行晶體,集成電路的檢驗和**測量.測量顯微鏡配備有冷光源光纖反射照明,成象和觀(guān)察系統,偏光裝置.測量顯微鏡
詳情介紹:
測量顯微鏡廣泛應用于半導體,電子工業(yè)進(jìn)行晶體,集成電路的檢驗和**測量.配備有冷光源光纖反射照明,成象和觀(guān)察系統,偏光裝置.
光學(xué)成象系統 Optical Imaging System
光學(xué)成象系統 Optical Imaging System
-----無(wú)限遠光學(xué)系統,管鏡焦距200mm
Infinitive Optical systam, Tube Lens Focal Length 200mm
-----鉸鏈式三目鏡筒,30°傾斜, 瞳距55-75mm
Compensation Free Trinocular Tube, Inclined at 30°, Interpupillary Distance 55-75mm
-----高眼點(diǎn),大視場(chǎng)目鏡WF10X/22
High Point and Wide Field Eyepiece WF10/22
-----長(cháng)工作距離,平場(chǎng)復消色差物鏡2X/0.055, 5X/0.14, 10X/0.28, 20X/0.29, 50X/0.42
Long Working Distance, Plan Apo Objectives 2X/0.055, 5X/0.14, 10X/0.28, 20X/0.29, 50X/0.42
------五孔物鏡轉換器
Quintuple Nosepiece
調焦系統 Focus Adjustment System
-----同軸粗微調焦機構,微動(dòng)格值0.002mm
Coaxial Coarse & Fin Focus Adjustment System, Fine Division 0.002mm
載物臺 Stage
------ 6″x8″雙層活動(dòng)平臺,移動(dòng)行程153x204mm
6″x8″Double Layers Mechanical Stage, Move Range 153x204mm.
三維測量系統 Three-dimensional Measurement System
-------分辨率: 1μm
Resolution: 1μm
-------測量精度: ±(2+L/200)μm
Measurement Exactitude: ±(2+L/200)μm
------重復定位精度: 2μm
Repeatedly Orientation Exactitude: 2μm
照明系統 Illumination System
-------冷光源光纖反射照明器:150W
Dold Light Fiber Reflected Illnminator: 150W
完善和**的測量軟件
--------完整的幾何量測(如:點(diǎn),線(xiàn),圓,弧,角度等)
Complete Geometric Measurement(Point,Line,Circle, Arc etc.)
--------坐標系的設定,擺正,旋轉
Enactment, Adjustment of Reference Frame
--------顯示方式多樣化;語(yǔ)言的轉換,公英制單位的轉換,角度的轉換
Diversity of Display: Conversion of Language, Measure and Angle
軟件介紹
完整的幾何量測(如:點(diǎn)、線(xiàn)、園、弧、角度等)。
坐標系的設定,擺正、旋轉。
逆向工程功能以及與Auto CAD的同步操作使用以及與CAM的連接。
測量精準度的校正和補償。
針對重復工件的量測有記憶、學(xué)習、自動(dòng)編程的功能;快速準確的現場(chǎng)實(shí)時(shí)測量。
顯示方式多樣化:語(yǔ)言的切換(中文簡(jiǎn)體和繁體;英文等);公英制單位的切換
(mm/inch);角度的轉換(度、度/分/妙);顯示數字的小數點(diǎn)可自設;各種線(xiàn)的顏色可自設
標注隨意化:可依據不同的語(yǔ)言、顏色、格式在圖形的任何位置進(jìn)行標注。
個(gè)性化的編輯:有復制、粘貼、刪除、剪切、延伸以及UNDO/REDO。
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